반반응 분리
Half-reaction separation
반반응 분리는 서로 반응하는 전구체가 기체 중에서 과도하게 겹치지 않도록 공급 사이를 분리하는 것이다.
설명
충분하지 않은 퍼지는 기상 반응이나 성분을 늘려 포화 거동·균일도·입자를 바꿀 수 있다. 배관과 챔버 벽에 남은 성분도 다음 단계로 이어질 수 있다.
예시
퍼지 단축으로 성장량이 커졌다고 생산성이 좋아졌다고만 판단하지 않는다. 조성·밀도·입자·구조 내부 균일도가 유지되는지 확인한다.
구분
사이클을 빠르게 하는 이득과 반응 분리의 손실을 함께 본다.