광학 근접 보정
Optical proximity correction
OPC
광학 근접 보정인 OPC는 주변 패턴에 따른 인쇄 왜곡을 줄이도록 마스크 형상을 보정하는 방법이다.
설명
마스크의 모양과 웨이퍼에 원하는 모양이 일치할 필요는 없다. 보정은 사용한 광학·레지스트·식각 모델의 유효 범위에 의존한다.
예시
새 재료나 식각 조건으로 바뀌면 과거 보정 모델의 예측이 계속 맞는지 확인한다.
구분
모델 보정은 물리 공정의 불안정을 무한히 대신할 수 없다.