용어검색/반도체라디칼Radical팩별 설명반도체 공정 L1반도체 장비 L1반도체 공정 L2라디칼은 홀전자를 가진 화학적으로 반응성 높은 종이다.정의 복사관련 학습 ↓설명식각에서는 표면과 반응해 제거 가능한 생성물을 만드는 데 기여한다. 중성 라디칼의 수송은 전기장으로 가속되는 이온과 다르다.예시깊은 구조에서 반응물 공급이 부족하면 이온 에너지만 높여도 원하는 제거율이 회복되지 않을 수 있다.구분화학 공급 부족과 에너지 부족을 나누어 가설을 세운다.함께 배우는 용어변동의 계층↗변동의 계층은 측정 반복·웨이퍼 내부·웨이퍼 사이·로트 사이에서 생기는 차이를 구분하는 관점이다.공간적 서명↗공간적 서명은 측정값이나 결함이 웨이퍼·필드의 위치에 따라 보이는 반복적 분포 형태다.계면 상태↗계면 상태는 반도체와 절연막의 경계에 존재하여 전하를 포획·방출할 수 있는 전자적 상태다.이전 용어← 플라즈마다음 용어플라즈마 시스 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개