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플라즈마 시스

Plasma sheath

팩별 설명

시스는 플라즈마와 표면 사이에 전위 차가 형성되는 경계 영역이다.

플라즈마

플라즈마는 전자·이온과 중성 입자가 함께 존재하는 이온화된 기체 상태다.

설명

전위 차는 이온의 입사 에너지와 방향 분포에 영향을 준다. 충돌·파형·표면 전위 때문에 이온이 모두 동일 에너지로 수직 입사하지는 않는다.

같은 평균 바이어스라도 압력 변화로 이온 충돌이 달라질 수 있다.

이온 에너지와 입사각 분포를 하나의 설정값과 동일시하지 않는다.

플라즈마는 전자·이온과 중성 입자가 함께 존재하는 이온화된 기체 상태다.

변동의 계층은 측정 반복·웨이퍼 내부·웨이퍼 사이·로트 사이에서 생기는 차이를 구분하는 관점이다.

공간적 서명은 측정값이나 결함이 웨이퍼·필드의 위치에 따라 보이는 반복적 분포 형태다.