용어검색/반도체변동의 계층Variation hierarchy변동의 계층은 측정 반복·웨이퍼 내부·웨이퍼 사이·로트 사이에서 생기는 차이를 구분하는 관점이다.정의 복사관련 학습 ↓설명한 웨이퍼를 열 번 측정한 값은 서로 다른 열 개 웨이퍼의 정보와 같지 않다. 계층을 섞으면 실제 공정 변동을 잘못 추정한다.예시중심부만 반복 측정하여 정밀한 평균을 얻어도 가장자리 불균일성은 확인되지 않는다.구분데이터 개수와 독립적인 생산 대상 수를 구분한다.함께 배우는 용어공정 통합↗공정 통합은 여러 단위공정의 순서·재료·형상을 조정하여 최종 소자와 배선의 요구특성을 함께 만족시키는 활동이다.공정 모듈↗공정 모듈은 특정 구조나 기능을 완성하기 위해 묶어 관리하는 연속 공정의 단위다.핵심 품질 특성↗핵심 품질 특성인 CTQ는 제품의 기능·신뢰성에 중요한 영향을 주어 관리 대상으로 정한 특성이다.이전 용어← 공정 마진다음 용어공간적 서명 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개