측벽 패시베이션
Sidewall passivation
측벽 패시베이션은 측면 반응을 억제하는 보호층 또는 표면 상태를 형성하는 과정이다.
설명
바닥은 이온 충돌로 보호가 제거되고 측벽은 상대적으로 남아 수직성에 기여할 수 있다. 보호가 부족하면 옆으로 깎이고 과하면 막힘·잔류가 생길 수 있다.
예시
바이어스·가스·온도 변화는 보호층 형성과 제거를 함께 바꾼다. 한 조건의 영향 방향을 모든 재료·온도로 일반화하지 않는다.
구분
측벽 보호는 적을수록 좋은 오염이 아니라 필요한 공정 요소일 수 있다.