마이크로로딩
Microloading
마이크로로딩은 주변 패턴 밀도나 노출 면적의 차이로 국부 식각 조건이 달라지는 현상이다.
설명
반응물 소모와 부산물 생성이 위치에 따라 달라져 같은 이라도 밀집 영역과 고립 영역의 결과가 달라질 수 있다. 종횡비 효과와 동시에 나타날 수 있다.
예시
폭이 다른 패턴만 비교하면 종횡비와 밀도 효과가 섞인다. 폭을 맞춘 밀도 비교와 밀도를 맞춘 폭 비교로 구분한다.
구분
구조 치수와 주변 노출 면적을 독립적으로 살핀다.