설명
대표적으로 도펀트를 공급하며 주입종, 에너지, 단위 면적당 과 각도를 관리한다. 단순히 표면을 코팅하는 증착과는 재료가 들어가는 방식이 다르다.
도즈는 단위 면적에 주입한 이온의 수량으로, 보통 ions/cm² 같은 단위로 나타낸다.
용어 상세 ↗예시
같은 원소를 같은 양 넣어도 에너지가 다르면 깊이 분포가 달라질 수 있다. 하나로 전체 조건을 대표시키지 않는다.
도즈는 단위 면적에 주입한 이온의 수량으로, 보통 ions/cm² 같은 단위로 나타낸다.
용어 상세 ↗구분
무엇을 얼마나 깊이, 얼마나 많이 넣는지를 나누어 이해한다.