플라스마 손상
Plasma-induced damage
손상은 플라스마 공정의 입자·전하·복사 등의 작용으로 재료나 소자 특성이 원하지 않게 변하는 것이다.
설명
표면 형상이 정상이어도 전기적 특성이 영향을 받을 수 있다. 에너지, 노출 시간과 구조 민감도가 관련되므로 향상만을 목표로 전력을 높이지 않는다.
예시
외관 검사에 이상이 없는데 전기 특성이 나빠졌다면 손상 가능성을 검토한다. 그러나 전기 불량 하나만으로 를 원인으로 확정할 수는 없다.
구분
제거 결과뿐 아니라 남겨 둔 구조의 기능도 보존해야 한다.