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엔드 이펙터

End effector

팩별 설명

엔드 이펙터는 로봇 끝에서 를 직접 지지하거나 잡는 부분이다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

설명

지지 면적·접촉 위치·재질·파지 방식이 처짐, 미끄러짐과 오염에 영향을 준다. 대기와 에서 적합한 방식이 다를 수 있다.

진공

진공은 기체 압력이 주변 대기압보다 낮은 상태다.

이송 실패가 로봇 모터 이상이 아니라 지지부 오염이나 휨과 관련될 수도 있다. 손으로 웨이퍼를 바로잡기 전에 정해진 안전·격리 절차가 우선이다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

로봇 궤적뿐 아니라 와 만나는 접촉 조건을 본다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

진공은 기체 압력이 주변 대기압보다 낮은 상태다.

반도체 공정 장비는 웨이퍼에 재료를 더하거나 제거하고 성질을 바꾸도록 정해진 환경과 동작을 만드는 시스템이다.