주입 도즈
Implant dose
주입 도즈는 단위 면적에 주입된 이온 수다.
설명
균일한 조사와 알려진 전하 상태에서 도즈는 빔 전류의 시간 적분을 이온 하나의 전하와 면적으로 나누어 계산한다. 도즈는 깊이 분포나 전기적 활성 비율과는 다른 값이다.
예시
전류·시간이 같아도 유효 조사 면적이나 손실·전하 보정이 다르면 도즈가 달라질 수 있다. 명령 도즈와 검증된 전달 도즈를 구분한다.
구분
도즈는 몇 개가 들어갔는지이며 어디에 어떤 상태로 남는지는 별도다.