주입 에너지
Implant energy
주입 에너지는 이 재료에 들어갈 때 가지는 운동 에너지다.
설명
동일한 이온종·재료 조건에서 주입 깊이 분포와 관련되지만 산란과 결정 방향 등의 영향도 받는다. 에너지 숫자를 특정 깊이와 무조건 일대일로 연결하지 않는다.
예시
은 같아도 에너지 조건이 달라지면 농도 분포가 달라질 수 있다. 깊이 목표를 바꾸는 일과 총량을 바꾸는 일을 구분한다.
구분
에너지는 주로 도달 분포를, 는 투입 총량을 생각하는 출발점이다.