질량 분석
Mass analysis
장비의 질량 분석은 전하를 띤 입자의 운동 차이를 이용해 원하는 질량 대 전하비의 을 선택하는 과정이다.
이온 주입은 가속한 이온을 재료에 입사시켜 원소를 넣고 전기적·물리적 특성을 조절하는 공정이다.
용어 상세 ↗이온은 전자를 잃거나 얻어 순전하를 띤 원자 또는 분자다.
용어 상세 ↗설명
자기장과 빔 경로 등을 사용해 원하지 않는 이온종을 걸러 낸다. 이름이 같은 원소라도 전하 상태가 다르면 운동 조건이 달라질 수 있다.
예시
가스 공급원이 맞다는 이유만으로 주입종 확인을 생략하지 않는다. 빔 선택 설정과 실제 검증 정보를 함께 확인한다.
구분
원료 이름과 에 도달하는 선택 은 같은 확인 항목이 아니다.
이온은 전자를 잃거나 얻어 순전하를 띤 원자 또는 분자다.
용어 상세 ↗