채널링
Channeling
채널링은 이온이 결정의 열린 방향을 따라 상대적으로 깊게 이동해 주입 분포의 꼬리를 만드는 현상이다.
설명
결정 방향과 입사각 관계가 중요하며 표면층과 손상 상태도 영향을 준다. 평균 에너지나 도즈가 같아도 결정 정렬이 달라지면 깊이 분포가 달라질 수 있다.
예시
기판 종류·방향··트위스트를 함께 기록한다. 한 각도 조건을 모든 결정·에너지에 동일하게 적용하지 않는다.
구분
결정은 균질한 덩어리가 아니라 방향성을 가진 이동 경로다.