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틸트와 트위스트

Tilt and twist

틸트트위스트

틸트는 웨이퍼 법선에 대한 빔의 기울기이고, 트위스트는 웨이퍼 면내 결정 방향에 대한 회전 조건이다.

설명

두 각도는 억제와 구조의 그늘짐·대칭성에 영향을 준다. 미세한 3차원 구조에서는 옆면과 바닥에 도달하는 양이 달라질 수 있다.

채널링

채널링은 이온이 결정의 열린 방향을 따라 상대적으로 깊게 이동해 주입 분포의 꼬리를 만드는 현상이다.

각도 보정은 깊이 분포뿐 아니라 패턴 방향별 도즈 균형까지 확인한다. 정렬 기준과 웨이퍼 방향 정보가 잘못 연결되지 않았는지 본다.

각도는 결정 효과와 구조 가림을 동시에 바꾸는 변수다.

채널링은 이온이 결정의 열린 방향을 따라 상대적으로 깊게 이동해 주입 분포의 꼬리를 만드는 현상이다.

펌프다운 시간상수는 단순 배기 모델에서 압력 변화의 빠르기를 나타내는 V/Seff 값이다.

실누설은 외부와 이어진 경로를 통한 가스 유입이고, 가상 누설은 내부에 갇힌 가스가 좁은 길을 통해 늦게 방출되는 현상이다.