고유전율 절연막
High-k dielectric
high-k
고유전율 절연막은 기준이 되는 SiO₂보다 큰 상대유전율을 가진 절연 재료다.
설명
이상적인 평행판에서 단위 면적당 정전용량은 유전율에 비례하고 물리 두께에 반비례한다. 더 두꺼운 막으로 같은 용량을 구현할 여지가 있다.
예시
물리 두께를 늘려도 목표 전기적 제어를 유지할 수 있지만 결함·계면·밴드 장벽에 따른 누설은 별도 확인한다.
구분
높은 유전율 하나로 전체 게이트 품질을 판단하지 않는다.