등가 산화막 두께
Equivalent oxide thickness
EOT
등가 산화막 두께인 EOT는 같은 단위 면적당 정전용량을 갖는 SiO₂ 막의 두께로 적층의 전기적 두께를 나타낸 값이다.
설명
단일 이상 절연막은 EOT≈t×3.9/k로 근사한다. 실제 전기 측정에서는 계면층과 다른 효과를 구분해야 한다.
예시
가상 t=5 nm, k=20이면 단일막 EOT는 약 0.975 nm다. 물리 두께가 0.975 nm라는 뜻은 아니다.
구분
물리 두께·유전율·전기적 등가 두께를 구분한다.