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게이트 올 어라운드

Gate-all-around

GAA

팩별 설명

게이트 올 어라운드인 GAA는 게이트가 채널을 둘러싸도록 형성한 트랜지스터 구조다.

설명

둘러싼 공간 안에 절연막과 전극을 형성하려면 선택적 제거와 ·좁은 공간 충전이 중요하다. 평탄막 조건만으로 내부 품질을 보장하지 않는다.

등각 피복

등각 피복은 구조의 표면 형상을 따라 비슷한 두께의 막을 형성하는 상태다.

바깥쪽 게이트막은 정상이어도 내부 틈의 피복이나 잔류가 다를 수 있다.

구조 내부에서 필요한 기능막의 연속성을 확인한다.

등각 피복은 구조의 표면 형상을 따라 비슷한 두께의 막을 형성하는 상태다.

메가소닉 세정은 높은 주파수의 음향 에너지를 액체에 전달하여 입자 제거를 돕는 방식이다.

표면 반응 지배는 전구체 공급보다 표면에서의 반응 속도가 성장을 제한하는 상태다.