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게이트 누설

Gate leakage

게이트 누설은 이상적으로 차단되어야 할 게이트 절연 경로를 통해 흐르는 전류다.

설명

두께·장벽·결함·국부 전기장·면적 등이 영향을 준다. 같은 평균 라도 얇은 국부 지점이나 결함 때문에 누설이 달라질 수 있다.

EOT

등가 산화막 두께인 EOT는 같은 단위 면적당 정전용량을 갖는 SiO₂ 막의 두께로 적층의 전기적 두께를 나타낸 값이다.

평균 용량은 정상인데 누설 꼬리만 증가하면 국부 박막 결함과 분포를 확인한다.

평균 전기적 두께와 누설 분포를 별개의 응답으로 본다.

등가 산화막 두께인 EOT는 같은 단위 면적당 정전용량을 갖는 SiO₂ 막의 두께로 적층의 전기적 두께를 나타낸 값이다.

메가소닉 세정은 높은 주파수의 음향 에너지를 액체에 전달하여 입자 제거를 돕는 방식이다.

표면 반응 지배는 전구체 공급보다 표면에서의 반응 속도가 성장을 제한하는 상태다.