설명
구멍 형상·계면 준비·라이너·금속 충전과 정렬이 연결 성능을 결정한다. 위쪽 금속이 연속해도 바닥 계면이 나쁘면 저항이 높다.
예시
배선 은 정상인데 소자 연결 저항이 크면 콘택트 계면과 유효 면적을 조사한다.
면저항은 균일한 얇은 도전막의 평면 방향 전기 저항 특성을 정사각형 기준으로 나타낸 값이다.
용어 상세 ↗구분
도전막 전체 저항과 을 구분한다.
접촉 저항은 서로 다른 영역이나 재료의 접속부에서 발생하는 전류 흐름의 저항 성분이다.
용어 상세 ↗