용어검색/반도체접촉 저항Contact resistance팩별 설명반도체 공정 L1반도체 수율·불량 L1반도체 테스트 L1반도체 계측·검사 L1반도체 소재 L1반도체 공정 L2반도체 패키징·HBM L2반도체 수율·불량 L2반도체 테스트 L2반도체 계측·검사 L2반도체 클린룸·오염관리 L1접촉 저항은 서로 다른 영역이나 재료의 접속부에서 발생하는 전류 흐름의 저항 성분이다.정의 복사관련 학습 ↓설명계면 장벽·오염·도핑·접촉 면적·전류 집중 등이 영향을 준다. 상부 금속 비저항 하나만으로 설명하기 어렵다.예시같은 금속과 구멍 지름인데 저항이 달라지면 바닥 청정도와 활성화 상태를 비교한다.구분저항 상승의 위치를 분리하는 시험 구조가 필요하다.함께 배우는 용어표면 준비↗표면 준비는 후속 증착·접합·반응이 재현되도록 오염과 표면 화학상태를 조정하는 과정이다.건조와 모세관 힘↗모세관 힘은 액체의 표면장력과 계면 형상으로 생기는 힘이며, 미세 패턴 건조 중 변형을 일으킬 수 있다.실리콘 소모↗실리콘 소모는 열산화 중 실리콘이 산화막으로 바뀌어 원래 기판 일부가 줄어드는 현상이다.이전 용어← 콘택트다음 용어접촉 비저항 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개