확산 배리어
Diffusion barrier
확산 배리어는 구리 등 금속이 주변 재료로 이동하는 것을 억제하기 위해 넣는 층이다.
설명
가 전기적 분리를 맡는다면 배리어는 금속 확산을 억제하는 역할을 한다. 접착과 공정 적합성도 함께 고려한다.
예시
두 층이 모두 전극 주변에 있다고 같은 기능으로 설명하지 않는다. 층별 결함은 누설·확산·접착 등 서로 다른 문제로 이어질 수 있다.
구분
주변층의 위치뿐 아니라 막는 대상이 무엇인지 구분한다.
Diffusion barrier
확산 배리어는 구리 등 금속이 주변 재료로 이동하는 것을 억제하기 위해 넣는 층이다.
가 전기적 분리를 맡는다면 배리어는 금속 확산을 억제하는 역할을 한다. 접착과 공정 적합성도 함께 고려한다.
두 층이 모두 전극 주변에 있다고 같은 기능으로 설명하지 않는다. 층별 결함은 누설·확산·접착 등 서로 다른 문제로 이어질 수 있다.
주변층의 위치뿐 아니라 막는 대상이 무엇인지 구분한다.