절연 라이너
Insulating liner
절연 라이너는 금속 전극과 주변 실리콘 사이를 전기적으로 분리하는 얇은 이다.
설명
실리콘 측벽을 따라 연속적으로 형성되어야 원치 않는 누설을 줄일 수 있다. 입구뿐 아니라 깊은 곳의 피복 상태도 중요하다.
예시
전극 저항이 낮아도 에 결함이 있으면 주변 실리콘으로 누설이 발생할 수 있다. 전도성과 절연성은 별도로 측정한다.
구분
좋은 는 잘 통하는 금속과 잘 막는 을 함께 갖는다.
Insulating liner
절연 라이너는 금속 전극과 주변 실리콘 사이를 전기적으로 분리하는 얇은 이다.
실리콘 측벽을 따라 연속적으로 형성되어야 원치 않는 누설을 줄일 수 있다. 입구뿐 아니라 깊은 곳의 피복 상태도 중요하다.
전극 저항이 낮아도 에 결함이 있으면 주변 실리콘으로 누설이 발생할 수 있다. 전도성과 절연성은 별도로 측정한다.
좋은 는 잘 통하는 금속과 잘 막는 을 함께 갖는다.