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시드층

Seed layer

팩별 설명

시드층은 후속 막이 핵생성하거나 전기화학적으로 성장할 수 있도록 시작 표면이나 도전 경로를 제공하는 층이다.

설명

구리 에서는 전류가 전달되는 연속 경로가 중요하다. 시드의 국부 단절은 상부 도금 두께 조절만으로 해결되지 않을 수 있다.

전해도금

전해도금은 전기화학 반응으로 용액의 금속 이온을 도전 표면에 석출시키는 방법이다.

같은 도금 조건에서 특정 형상만 빈 공간이 늘면 선행 시드 피복을 조사한다.

도금 불량을 도금 장비 안에서만 찾지 않는다.

전해도금은 전기화학 반응으로 용액의 금속 이온을 도전 표면에 석출시키는 방법이다.

공정 통합은 여러 단위공정의 순서·재료·형상을 조정하여 최종 소자와 배선의 요구특성을 함께 만족시키는 활동이다.

공정 모듈은 특정 구조나 기능을 완성하기 위해 묶어 관리하는 연속 공정의 단위다.