에로전
Erosion
에로전은 패턴 밀도가 높은 영역 등에서 금속과 주변 절연막을 포함한 영역 전체가 상대적으로 낮아지는 현상이다.
설명
국부 패턴 밀도와 재료 노출·접촉 조건이 기여한다. 개별 금속의 오목함인 과 구분하되 둘이 함께 나타날 수 있다.
예시
밀집 배선 영역 전체가 내려앉으면 단일 배선 중앙의 깊이만 측정하지 않는다.
구분
영역 단위 손실과 개별 패턴 손실을 구분한다.
Erosion
에로전은 패턴 밀도가 높은 영역 등에서 금속과 주변 절연막을 포함한 영역 전체가 상대적으로 낮아지는 현상이다.
국부 패턴 밀도와 재료 노출·접촉 조건이 기여한다. 개별 금속의 오목함인 과 구분하되 둘이 함께 나타날 수 있다.
밀집 배선 영역 전체가 내려앉으면 단일 배선 중앙의 깊이만 측정하지 않는다.
영역 단위 손실과 개별 패턴 손실을 구분한다.