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에로전

Erosion

팩별 설명

에로전은 조밀한 패턴 영역 등에서 절연막을 포함한 표면이 주변 영역보다 더 낮아지는 제거 현상이다.

CMP

CMP는 화학적 반응과 기계적 연마를 함께 이용해 재료를 제거하고 표면을 평탄화하는 공정이다.

설명

금속 하나의 오목함인 과 달리 패턴이 모인 영역 전체의 높이 손실을 보는 관점이다. 실제로 두 현상이 함께 나타날 수 있다.

디싱

디싱은 CMP 후 금속선 등의 표면이 주변 절연막보다 오목하게 낮아진 형상이다.

넓은 금속선 중앙만 낮은지, 선들이 모인 영역의 절연막까지 함께 낮은지를 구분하면 필요한 평가와 개선 방향이 달라진다.

과 에로전은 어떤 재료와 어떤 공간 범위가 낮아졌는지로 구분한다.

디싱

디싱은 CMP 후 금속선 등의 표면이 주변 절연막보다 오목하게 낮아진 형상이다.

CMP는 화학적 반응과 기계적 연마를 함께 이용해 재료를 제거하고 표면을 평탄화하는 공정이다.

디싱은 CMP 후 금속선 등의 표면이 주변 절연막보다 오목하게 낮아진 형상이다.

열 예산은 여러 공정에서 재료와 소자가 받은 온도·시간 이력을 누적 영향의 관점에서 관리하는 개념이다.