디싱
Dishing
디싱은 후 금속선 등의 표면이 주변 절연막보다 오목하게 낮아진 형상이다.
설명
특히 넓은 금속 영역에서 상대적인 제거 차이가 문제될 수 있다. 금속 높이가 줄면 도전 단면적과 다음 층의 표면 높이에 영향을 준다.
예시
디싱은 금속과 주변 절연막 사이의 국부 높이 차이를 본다. 전체가 고르게 얇아진 상태와 같은 현상이 아니다.
구분
디싱은 겉보기 평탄성뿐 아니라 남은 금속의 전기적 단면에 연결된다.
Dishing
디싱은 후 금속선 등의 표면이 주변 절연막보다 오목하게 낮아진 형상이다.
특히 넓은 금속 영역에서 상대적인 제거 차이가 문제될 수 있다. 금속 높이가 줄면 도전 단면적과 다음 층의 표면 높이에 영향을 준다.
디싱은 금속과 주변 절연막 사이의 국부 높이 차이를 본다. 전체가 고르게 얇아진 상태와 같은 현상이 아니다.
디싱은 겉보기 평탄성뿐 아니라 남은 금속의 전기적 단면에 연결된다.