용어검색/반도체타원편광법Ellipsometry팩별 설명반도체 공정 L1반도체 계측·검사 L1반도체 소재 L1반도체 공정 L2반도체 계측·검사 L2타원편광법은 반사 전후 빛의 편광 상태 변화를 분석하여 박막 두께와 광학 특성을 추정하는 방법이다.정의 복사관련 학습 ↓설명여러 층의 두께·굴절률·흡수 특성이 신호에 함께 기여한다. 한 파라미터를 잘못 고정하면 다른 값이 이를 보상할 수 있다.예시막 조성이 달라졌는데 굴절률을 고정하면 두께가 변한 것처럼 추정될 수 있다.구분물리적 두께 변화와 광학 상수 변화를 분리한다.함께 배우는 용어열산화↗열산화는 높은 온도에서 산화제가 실리콘과 반응하여 산화막을 성장시키는 공정이다.임계 치수↗임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.반사 방지막↗반사 방지막은 기판 반사로 인한 광학 간섭과 패턴 왜곡을 줄이기 위해 사용하는 층이다.이전 용어← 광학 치수 계측다음 용어파괴 분석 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개