용어검색/반도체반사 방지막Anti-reflective coatingARC팩별 설명반도체 공정 L1반도체 소재 L1반도체 공정 L2반사 방지막은 기판 반사로 인한 광학 간섭과 패턴 왜곡을 줄이기 위해 사용하는 층이다.정의 복사관련 학습 ↓설명레지스트 아래 또는 위의 광학 경계 조건을 바꾼다. 막의 광학 상수와 두께가 달라지면 동일 노광량에서도 깊이 방향 반응이 변한다.노광량노광량은 감광막에 전달한 단위 면적당 빛의 에너지다.용어 상세 ↗예시레지스트 측벽의 주기적 요철이 막 두께에 따라 달라지면 반사·간섭의 영향을 검토한다.구분두께와 광학 상수를 묶어 반사 조건을 평가한다.함께 배우는 용어노광량↗노광량은 감광막에 전달한 단위 면적당 빛의 에너지다.공정 윈도우↗공정 윈도우는 정한 품질 조건을 동시에 만족하는 입력변수 조합의 범위다.공정 마진↗공정 마진은 정상적인 변동이 생겨도 실패 경계에 닿지 않도록 확보한 여유다.이전 용어← 노광 후 베이크다음 용어현상 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개