광학 치수 계측
Optical critical dimension metrology
OCD
광학 치수 계측인 OCD는 패턴에서 반사·산란된 빛을 모델과 비교하여 치수나 형상을 추정하는 방법이다.
설명
빠르게 많은 정보를 얻을 수 있지만 서로 다른 형상·광학 상수 조합이 비슷한 신호를 만들 수 있다. 모델의 식별성과 기준 측정이 중요하다.
예시
적합 오차가 작아도 단면과 맞지 않으면 모델 가정과 변수 상관을 점검한다.
구분
잘 맞는 광학 곡선과 유일하게 맞는 실제 형상을 구분한다.