CD-SEM
Critical-dimension scanning electron microscopy
-SEM은 주사전자현미경 신호를 이용해 미세 패턴 치수를 측정하는 계측 방식이다.
설명
경계 추출 규칙·전자 조건·충전·시편 손상·높이 민감도가 결과에 영향을 준다. 눈에 선명한 경계가 유일한 물리 경계는 아니다.
예시
측정 레시피 변경 뒤 가 움직이면 동일 시편으로 변경 전후 차이를 확인한다.
구분
공정과 계측 레시피의 변경 이력을 따로 기록한다.