WAT
Wafer Acceptance Test
웨이퍼 수용 시험
WAT는 의 시험 구조를 이용해 공정이 목표한 전기적 특성을 갖는지 확인하는 시험이다.
설명
트랜지스터·저항·접점·절연 특성 등을 공정 감시 목적에 맞춰 평가한다. 시험 구조의 결과이며 제품 의 모든 기능을 전부 시험한 것과는 다르다.
예시
WAT 결과가 좋아도 실제 제품 회로의 특정 연결 결함을 놓칠 수 있다. 공정 특성 확인과 제품 기능 판정을 구분한다.
구분
WAT는 공정의 전기적 건강 상태를 대표 구조로 확인하는 단계이다.