기체 부하
Gas load
기체 부하는 공정 가스 공급·누설· 등으로 진공계통에 유입되거나 발생해 배기계가 처리해야 하는 기체의 시간당 부하를 나타내는 양이다.
설명
공정 가스, 누설, 와 반응 부산물이 부하를 만든다. 단순 정상상태에서 압력은 기체 부하가 커지면 높아지고 가 커지면 낮아지는 방향이다.
예시
같은 펌프라도 가스 유량을 늘리면 제어밸브의 위치가 달라질 수 있다. 압력 상승을 펌프 고장 하나로 설명하지 않는다.
구분
문제는 기체가 많아졌는지, 배출이 줄었는지를 나누어 생각한다.