유효 배기속도
Effective pumping speed
유효 배기속도는 배관과 밸브의 영향을 포함해 챔버 위치에서 실제로 얻는 배기 능력이다.
설명
단순한 직렬 배기 경로에서는 1/유효 배기속도 = 1/펌프 배기속도 + 1/로 관계를 설명할 수 있다. 같은 기체·해당 압력 조건의 값을 사용해야 한다.
예시
가상 조건에서 펌프와 배관의 값이 각각 100 L/s이면 유효 배기속도는 50 L/s다. 이는 일반 장비 사양이 아니라 경로 제한을 보여주는 계산 예다.
구분
강한 펌프만큼 기체가 펌프까지 도달하는 경로가 중요하다.