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게이지 R&R

Gage repeatability and reproducibility

Gage R&R

팩별 설명

게이지 R&R은 정해진 측정 운용에서 에 해당하는 변동 성분을 평가하는 방법이다.

반복성과 재현성

반복성은 같은 조건에서의 측정 일치도이며, 재현성은 지정한 조건이 달라졌을 때의 측정 일치도다.

설명

시료 간 차이와 측정 조건 차이를 구분하도록 평가를 설계한다. 측정 변동의 비율은 전체 변동 기준인지 공차 기준인지에 따라 의미가 달라지므로 숫자만 옮겨 비교하면 안 된다.

매우 비슷한 시료만 고르면 공정 변동 대비 측정 변동 비중이 커 보일 수 있다. 반대로 넓은 범위의 시료만 쓰면 미세 차이 분해 능력이 과대평가될 수 있다.

평가 시료·분모·측정 절차를 명시해야 R&R 수치가 해석된다.

반복성은 같은 조건에서의 측정 일치도이며, 재현성은 지정한 조건이 달라졌을 때의 측정 일치도다.

노광량은 단위 면적에 전달된 광에너지이며, 레지스트 반응을 통해 현상 후 패턴에 영향을 준다.

엔드이펙터는 로봇 끝에서 웨이퍼를 직접 지지·잡아 이동시키는 부품이다.