용어검색/반도체엔드이펙터End effector팩별 설명반도체 장비 L1반도체 장비 L2엔드이펙터는 로봇 끝에서 웨이퍼를 직접 지지·잡아 이동시키는 부품이다.정의 복사관련 학습 ↓설명형상·접촉 재료·마찰·청정도·처짐이 위치와 뒷면 오염에 영향을 준다. 고온 웨이퍼에서는 열팽창과 재료 적합성도 중요하다.예시교체 부품의 외형만 같다고 호환성을 확정하지 않는다. 지지 위치·두께·재료·허용 온도와 이송 검증을 함께 확인한다.구분이송 부품의 접촉 조건이 후속 공정의 표면과 위치를 만든다.함께 배우는 용어표준체적 유량↗표준체적 유량은 질량 또는 몰 유량을 정해진 기준 온도·압력의 체적으로 표현한 값이다.스퍼터링↗스퍼터링은 입자 충돌로 타깃 표면의 원자를 방출시켜 기판에 막을 형성하는 물리적 증착 방식이다.반응성 스퍼터링과 포이즈닝↗반응성 스퍼터링은 반응 가스를 이용해 화합물막을 만들며, 타깃 포이즈닝은 타깃 표면에 화합물층이 형성되는 현상이다.이전 용어← 위치 정확도와 반복성다음 용어가속과 저크 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개