공간 샘플링
Spatial sampling
공간 샘플링은 웨이퍼의 어느 위치를 얼마나 측정해 공간 분포를 대표할지 정하는 방법이다.
설명
측정점이 적으면 좁은 가장자리 이상이나 특정 방위 패턴을 놓칠 수 있다. 서로 다른 좌표·제외 영역·가중치를 쓴 평균은 같은 지표가 아닐 수 있다.
예시
두 챔버를 비교할 때 한쪽은 가장자리까지, 다른 쪽은 중앙만 측정했다면 평균 차이는 샘플링 차이일 수 있다. 같은 좌표계와 평가 면적을 맞춘다.
구분
평균값 비교 앞에는 공간 정의의 일치가 필요하다.