고종횡비
High aspect ratio
Aspect Ratio
고종횡비는 구멍이나 구조의 깊이가 폭에 비해 큰 형상 특성이다.
설명
깊이 대 폭의 비율로 표현하며 깊고 좁을수록 바닥까지 식각 반응물이나 증착 재료를 전달하기 어려워질 수 있다.
예시
폭 5 μm, 깊이 50 μm인 가상 구멍의 종횡비는 10이다. 이 값은 예시이며 실제 공정 가능 범위는 장비와 구조에 따라 다르다.
구분
종횡비는 형상을 설명하고 후속 피복·충전 난이도를 예측하는 단서다.