동종·이종 에피택시
Homoepitaxy and heteroepitaxy
동종 는 같은 종류의 결정 재료 위에, 이종 에피택시는 다른 결정 재료 위에 성장하는 경우를 말한다.
설명
이종 성장에서는 격자 상수와 열팽창 등의 차이가 응력·결함의 원인이 된다. 같은 재료라도 오염이나 손상이 있으면 완전한 결정을 보장하지 않는다.
예시
재료를 바꾸면서 성장률만 맞추면 계면 응력과 결함을 놓칠 수 있다.
구분
기판과 성장층의 구조적 관계를 먼저 정리한다.