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에피택시

Epitaxy

팩별 설명

에피택시는 기판 결정의 방향과 질서에 관계를 맺으며 결정층을 성장시키는 과정이다.

설명

원자의 공급뿐 아니라 표면 이동·부착·결정 결함이 성장 품질을 결정한다. 단순히 막을 쌓는 것과 결정성을 계승하는 것은 다르다.

같은 두께여도 결함·조성·에 따라 전기 특성이 크게 달라질 수 있다.

계면 상태

계면 상태는 반도체와 절연막의 경계에 존재하여 전하를 포획·방출할 수 있는 전자적 상태다.

성장률과 결정 품질을 별개의 응답으로 평가한다.

계면 상태는 반도체와 절연막의 경계에 존재하여 전하를 포획·방출할 수 있는 전자적 상태다.

표면 준비는 후속 증착·접합·반응이 재현되도록 오염과 표면 화학상태를 조정하는 과정이다.

금속 오염은 의도하지 않은 금속 성분이 표면이나 재료 내부에 존재하는 상태다.