틸트와 섀도 효과
Implant tilt and shadowing
주입 틸트는 이온 입사 방향을 기판 법선에서 기울이는 각도이며 구조가 입사를 가리면 섀도 효과가 생긴다.
설명
기울임은 억제에 쓰일 수 있지만 높은 마스크나 삼차원 구조에서는 위치별 도핑 불균일을 늘릴 수 있다. 회전 방향도 영향을 준다.
예시
같은 주입 조건에서 구조 방향별 전기 특성이 갈리면 입사 가림을 비교한다.
구분
평탄 웨이퍼의 균일도와 패턴 내부의 균일도를 구분한다.
Implant tilt and shadowing
주입 틸트는 이온 입사 방향을 기판 법선에서 기울이는 각도이며 구조가 입사를 가리면 섀도 효과가 생긴다.
기울임은 억제에 쓰일 수 있지만 높은 마스크나 삼차원 구조에서는 위치별 도핑 불균일을 늘릴 수 있다. 회전 방향도 영향을 준다.
같은 주입 조건에서 구조 방향별 전기 특성이 갈리면 입사 가림을 비교한다.
평탄 웨이퍼의 균일도와 패턴 내부의 균일도를 구분한다.