포커스·초점
Lithography Focus
Focus
의 이미지가 의 포토레지스트 면에 가장 선명하게 맺히도록 초점 위치를 맞춘 상태.
설명
표면 높이 차이나 스테이지 높이 보정 변화는 초점 오차를 만들 수 있어 오버레이와 함께 중요하게 관리한다.
예시
전에 높이를 측정하고 포커스를 보정해 노광 영역 전반의 이미지 sharpness를 유지한다. 관련 용어: /
구분
포커스는 이미지 plane 위치와 선명도 문제이고 도즈는 레지스트가 받은 빛 에너지 문제다.