마그네트론
Magnetron
마그네트론은 자기장으로 전자의 타깃 부근 체류를 늘려 방전을 돕는 소스 구조다.
설명
전자 경로가 길어지면 기체 이온화 가능성이 커지고 타깃 근처의 플라즈마 분포가 형성된다. 자기장 분포는 타깃 침식 위치와 균일도에 영향을 준다.
예시
자석·타깃·냉각 구조 변경 후에는 전력 설정만 복사하지 않는다. 침식 형태와 웨이퍼 두께 맵의 변화를 비교한다.
구분
자기장 구조는 소스 효율뿐 아니라 공간 분포를 만든다.
Magnetron
마그네트론은 자기장으로 전자의 타깃 부근 체류를 늘려 방전을 돕는 소스 구조다.
전자 경로가 길어지면 기체 이온화 가능성이 커지고 타깃 근처의 플라즈마 분포가 형성된다. 자기장 분포는 타깃 침식 위치와 균일도에 영향을 준다.
자석·타깃·냉각 구조 변경 후에는 전력 설정만 복사하지 않는다. 침식 형태와 웨이퍼 두께 맵의 변화를 비교한다.
자기장 구조는 소스 효율뿐 아니라 공간 분포를 만든다.