평균자유행로
Mean free path
평균자유행로는 입자가 다른 입자와 충돌하기 전까지 이동하는 평균 거리다.
설명
같은 기체와 온도에서 압력이 높아지면 일반적으로 충돌이 잦아져 평균자유행로가 짧아진다. 타깃–웨이퍼 거리에 비해 짧아지면 입사 방향과 에너지 분포가 더 바뀐다.
예시
압력 증가가 언제나 피복을 개선하거나 악화시키는 한 방향 효과는 아니다. 산란·증착률·막 밀도·구조의 그늘짐을 함께 고려한다.
구분
전달은 압력 자체보다 이동 거리와 충돌 길이의 관계로 이해한다.