마그네트론
Magnetron sputtering
마그네트론은 자기장으로 부근 전자 거동을 제어해 방전을 효율적으로 유지하는 구성이다.
설명
전자 체류와 이온화가 강화되어 주변의 형성에 도움을 준다. 자기장과 타깃 소모 상태는 위치별 방출과 이용률에 영향을 줄 수 있다.
예시
이 사용되면서 특정 영역이 더 깊게 소모되면 초기와 후기의 공정 특성이 달라질 수 있다. 사용량과 두께 지도 변화를 함께 관리한다.
구분
자기장은 재료를 직접 끌어오는 것이 아니라 방전 조건을 만드는 역할이다.