타깃
Sputtering target
타깃은 에서 방출될 원료를 제공하는 고체 재료 부품이다.
설명
조성·순도·밀도·접합·냉각 상태가 막 오염과 안정성에 영향을 준다. 소모되면서 표면 형상이 변하므로 사용 이력과 교체 기준을 관리한다.
예시
타깃 잔량이 남아 있다고 계속 같은 증착 특성을 보장하는 것은 아니다. 냉각··소모 분포와 공정 결과를 함께 확인한다.
구분
타깃은 소모량과 물성·표면 상태를 함께 관리하는 공정 부품이다.
Sputtering target
타깃은 에서 방출될 원료를 제공하는 고체 재료 부품이다.
조성·순도·밀도·접합·냉각 상태가 막 오염과 안정성에 영향을 준다. 소모되면서 표면 형상이 변하므로 사용 이력과 교체 기준을 관리한다.
타깃 잔량이 남아 있다고 계속 같은 증착 특성을 보장하는 것은 아니다. 냉각··소모 분포와 공정 결과를 함께 확인한다.
타깃은 소모량과 물성·표면 상태를 함께 관리하는 공정 부품이다.