스퍼터링
Sputtering
스퍼터링은 충돌로 고체 표면의 원자를 방출시키는 현상과 이를 이용한 증착 방식이다.
설명
방출된 원자가 기판에 도달해 막을 형성한다. 전력, 가스 압력과 기판 위치가 방출·수송·성장에 영향을 준다.
예시
압력을 바꾸면 상태와 방출 원자의 충돌 경로가 함께 변할 수 있다. 두께 변화만으로 전력 효과라고 단정하지 않는다.
구분
에서 떼어내는 과정과 까지 보내는 과정을 나누어 본다.
Sputtering
스퍼터링은 충돌로 고체 표면의 원자를 방출시키는 현상과 이를 이용한 증착 방식이다.
방출된 원자가 기판에 도달해 막을 형성한다. 전력, 가스 압력과 기판 위치가 방출·수송·성장에 영향을 준다.
압력을 바꾸면 상태와 방출 원자의 충돌 경로가 함께 변할 수 있다. 두께 변화만으로 전력 효과라고 단정하지 않는다.
에서 떼어내는 과정과 까지 보내는 과정을 나누어 본다.