MES
Manufacturing Execution System
MES는 생산 실행을 관리하며 로트·공정 경로·작업 이력·상태 등을 연결하는 제조 실행 시스템이다.
설명
장비 제어와 연계되지만 챔버 내부의 모든 실시간 제어를 직접 수행하는 것은 아니다. 허용 공정과 제품 이력을 관리하는 역할을 이해한다.
예시
같은 장비라도 로트의 공정 경로가 다르면 사용 가능한 가 달라질 수 있다. 장비 준비 상태와 제품 작업 허가를 함께 확인한다.
구분
장비가 할 수 있는 작업과 해당 제품에 허용된 작업은 다를 수 있다.