설명
마스크가 얇아지거나 모서리가 변하면 아래층 형상과 에도 영향이 전달된다. 초기 마스크 두께만으로 전체 식각을 견디는지 판단할 수 없다.
임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.
용어 상세 ↗예시
식각 후반에 가 급격히 변하면 마스크 잔여량과 프로파일 변화를 시간별로 비교한다.
임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.
용어 상세 ↗구분
마스크는 고정된 경계가 아니라 공정 중 변화하는 재료다.