용어검색/반도체스핀 코팅Spin coating팩별 설명반도체 용어 L1반도체 공정 L1반도체 장비 L1반도체 소재 L1반도체 공정 L2스핀 코팅은 기판 회전으로 용액을 펼치고 용매를 증발시켜 막을 형성하는 방법이다.정의 복사관련 학습 ↓설명회전 조건 외에도 점도·온도·표면 상태·용매 증발이 두께와 균일도를 바꾼다. 단차 위에서는 평탄 기판과 다른 국부 두께가 생긴다.예시평균 두께가 같아도 주변부 또는 단차 근처만 패턴 불량이면 위치별 코팅 상태를 본다.구분회전수 하나를 모든 두께 변화의 원인으로 지목하지 않는다.함께 배우는 용어공정 윈도우↗공정 윈도우는 정한 품질 조건을 동시에 만족하는 입력변수 조합의 범위다.공정 마진↗공정 마진은 정상적인 변동이 생겨도 실패 경계에 닿지 않도록 확보한 여유다.변동의 계층↗변동의 계층은 측정 반복·웨이퍼 내부·웨이퍼 사이·로트 사이에서 생기는 차이를 구분하는 관점이다.이전 용어← 포토레지스트다음 용어소프트베이크 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개